[发明专利]一种多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法

摘要

本发明公开了一种多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，给出了对已压氦或预充氦密封元器件压氦进行多次压氦法或预充氦压氦法氦质谱细检漏的程序，特别是给出了程序中的压氦时长、最长候检时长和测量漏率判据。本发明的有益效果为与仍采用单次压氦法进行再次细检漏相比，本发明更为简捷精确，且可避免接近粗漏的大漏的漏检和细漏的错判；与先细漏检测、压氦再细漏检测的两次检测相比，不仅减少一次细漏检测，减少了测试偏差，而且可以利用压氦前被检件内部有所衰减的预充氦氦气压力或压氦压入的氦气压力，使检测更为灵敏；与多因素比较前一次细漏检测和压氦后二次细漏检测的候检时长和测量漏率的方法相比，更为简便可行。

主权项

一种多次压氦和预充氦压氦的氦质谱细检漏方法，包括步骤S1压氦，其特征在于，应记录和保存预充氦比k值、预充氦密封的时间和各i次(i＝1～n)压氦压力PE.i、压氦时长t1.i和压氦结束的时间，其中第i次压氦时长t1.i应不小于规定值；对多次压氦法，第i(i＝2～n)次压氦的压氦时长t1.i的规定值通过以下公式得到：除非t1.i‑1很长，为方便操作，一般可取：式(1.1)和(1.2)中，t1.i‑1为前一次压氦时间，PE.i‑1为前一次压氦压力；对预充氦压氦法，第i(i＝1～n)次压氦的压氦时长t1.i的规定值通过以下公式得到：式(2)中，预充氦比k为被检件预充气体中氦气分压与标准大气压P0的比值，t3.0i为预充氦密封结束至第i次压氦结束的时间间隔。