[发明专利]基板收纳状态检查装置及包括该装置的基板收纳设备

摘要

基板收纳状态检查装置包括照明装置和拍摄装置和基板收纳状态判别部。照明装置在位于检查用位置的输送容器的开口部的前面侧，包括沿该开口部的宽度方向分开而设置的第一照明部和第二照明部。基板收纳状态判别部对由拍摄装置拍摄的检查对象图像，检测利用第一照明部和第二照明部照射的光而在半导体基板的周缘部的周方向上分开的部位产生的一对高辉度部分，基于关于该一对高辉度部分的上下方向的位置的对应关系，判别半导体基板的收纳姿势是否异常。

主权项

一种基板收纳设备，包括：基板收纳状态检查装置，在收纳形成为圆板状的半导体基板的收纳空间，支持所述半导体基板的外周部的支持体以沿上下方向分开的状态并列多层而设置，并且将设置有在所述收纳空间与外部之间取放所述半导体基板的开口部的输送容器作为检查对象；以及容器收纳架，包括多个收纳所述输送容器的收纳部，此处，所述基板收纳状态检查装置，包括：照明装置，经由所述开口部向收纳在位于检查用位置的所述输送容器的所述半导体基板照射光；拍摄装置，拍摄由所述照明装置照射光的所述半导体基板；以及基板收纳状态判别部，基于由所述拍摄装置拍摄的图像，执行判别所述半导体基板的收纳姿势是否正常的基板收纳状态判别处理，其特征在于，所述照明装置在位于所述检查用位置的所述输送容器的开口部的前面侧，包括沿与所述开口部的上下方向正交的宽度方向分开而设置的第一照明部和第二照明部，所述基板收纳状态判别部执行辉点检测处理，在由所述拍摄装置拍摄的检查对象图像中，检测利用所述第一照明部和所述第二照明部照射的光而在所述半导体基板的周缘部的周方向上分开的部位产生的一对高辉度部分，并且基于通过所述辉点检测处理而在所述检查对象图像上检测的所述一对高辉度部分的上下方向的位置的对应关系，执行判别所述半导体基板的收纳姿势是否异常的姿势判别处理；所述基板收纳状态检查装置在所述容器收纳架的入库口、或者向所述入库口输送所述输送容器的输送装置。