[发明专利]一种波长为343nm的全固态脉冲紫外激光器在审
申请号: | 201310162535.4 | 申请日: | 2013-05-07 |
公开(公告)号: | CN104143759A | 公开(公告)日: | 2014-11-12 |
发明(设计)人: | 姜培培;沈永行;许洋 | 申请(专利权)人: | 许洋 |
主分类号: | H01S3/16 | 分类号: | H01S3/16 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 100062 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种波长为343nm的全固态脉冲紫外激光器,它由半导体激光泵源、耦合光学系统、激光输入镜、掺镱的钇铝石榴石(Yb:YAG)激光晶体、调Q开关、激光输出镜、三倍频晶体、二倍频晶体和端面激光全反镜组成。半导体激光泵源、耦合光学系统、激光输入镜、掺镱的钇铝石榴石(Yb:YAG)激光晶体、调Q开关、激光输出镜、三倍频晶体、二倍频晶体和端面激光全反镜在空间上顺次排列,激光输出镜与系统通光光轴成一定角度放置。通过脉冲驱动波长为940nm的半导体激光器,激光器将发出波长343nm的紫外脉冲激光。本发明主要用以解决质谱仪所使用的气体紫外脉冲激光器光束质量差、脉冲稳定性低、激光器工作寿命短、仪器维护成本高的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 波长 343 nm 固态 脉冲 紫外 激光器 | ||
【主权项】:
一种波长为343nm的全固态脉冲紫外激光器由半导体激光泵源1、耦合光学系统2、激光输入镜3、掺镱的钇铝石榴石Yb:YAG激光晶体4、调Q开关5、激光输出镜6、三倍频晶体7、二倍频晶体8和端面激光全反镜9组成。半导体激光泵源1、耦合光学系统2、激光输入镜3、掺镱的钇铝石榴石Yb:YAG激光晶体4、调Q开关5、激光输出镜6、三倍频晶体7、二倍频晶体8和端面激光全反镜9在空间上顺次排列,半导体激光泵源1、耦合光学系统2、激光输入镜3、掺镱的钇铝石榴石Yb:YAG激光晶体4、调Q开关5、三倍频晶体7、二倍频晶体8和端面激光全反镜9的通光光轴相互对准,激光输出镜6与系统通光光轴成一定角度放置。
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