[发明专利]检查半导体封装的印刷电路板的方法有效
申请号: | 201310164735.3 | 申请日: | 2013-05-07 |
公开(公告)号: | CN103426787A | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 郑显权;池升龙;李贞均 | 申请(专利权)人: | 韩美半导体株式会社 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/50 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 韩国仁*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 公开一种检查半导体封装的印刷电路板的方法,可提高拍摄印刷电路板(PCB)安装区域的图案时的精度、可充分确保总的检查时间而不降低每小时产量(UPH)、并可快速检查PCB的安装区域的缺陷。该方法通过接合装置执行,接合装置包括:晶片供给单元;接合台;将多个芯片传送到接合台的接合提取器;及第一可视系统,拍摄PCB的允许上面分别安装芯片的安装区域,该方法包括:制备具有在上面将要分别安装多个芯片的多个安装区域的PCB;通过使用第一可视系统对设置于接合台上的PCB的各个安装区域执行多次图像拍摄,以获得PCB的各个安装区域的多个位置值;和根据多个位置值,确定PCB的各个安装区域的最终位置值。 | ||
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【主权项】:
一种检查半导体封装的印刷电路板(PCB)的方法,所述方法通过接合装置执行,所述接合装置包括:晶片供给单元;接合台;用于将多个芯片传送到所述接合台的接合提取器;以及第一可视系统,所述第一可视系统用于拍摄所述PCB的安装区域,在所述安装区域上允许分别安装所述芯片,所述方法包括:(a)制备具有多个安装区域的PCB,其中在所述多个安装区域上将要分别安装所述多个芯片;(b)通过使用所述第一可视系统对设置于所述接合台上的PCB的各个安装区域执行多次图像拍摄,以获得所述PCB的各个安装区域的多个位置值;和(c)根据所述PCB的各个安装区域的多个位置值,确定所述PCB的各个安装区域的最终位置值。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造