[发明专利]基板切割装置及其方法有效
| 申请号： | 201310165967.0 | 申请日： | 2013-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN103387335A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 郑薰;尹星进;辛圭晟 | 申请（专利权）人： | 灿美工程股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/08 | 分类号： | C03B33/08 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板切割装置及其方法。本发明涉及的基板切割装置，其特征在于，包括：工作台（100），用于放置基板（10）；激光部（200），用于生成激光束（L1、L2）；分光镜（BS），将激光束（L1、L2）分成第一激光束（L1）和第二激光束（L2）；第一加工部（300），利用所述第一激光束（L1），对基板（10）内部进行划线加工，以形成第一蚀刻部（P1、P2）；以及第二加工部（400），利用所述第二激光束（L2），对基板（10）内部进行光束摆动划线加工，以形成第二蚀刻部（P3）。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种基板切割装置，其特征在于，包括：工作台，用于放置基板；激光部，用于生成激光束；分光镜，将所述激光束分成第一激光束和第二激光束；第一加工部，利用所述第一激光束对所述基板内部进行划线加工，以形成第一蚀刻部；以及第二加工部，利用所述第二激光束对所述基板内部进行光束摆动划线加工，以形成第二蚀刻部。
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