[发明专利]吸嘴检查装置

摘要

提供一种能够检查清扫后的吸嘴的清扫状态的吸嘴检查装置。吸嘴检查装置具备旋转装置（20），使转台（30）每次旋转规定旋转角；吸嘴保持托盘（40），以可拆装的方式安装于转台（30），且在圆周上等间隔地设有以垂直状态保持吸嘴（500）的多个吸嘴保持部（40f）；吸嘴连接部（51），以能够沿上下方向移动的方式设置，与吸嘴（500）吸嘴孔连接并连通；泵，向吸嘴连接部（51）供给空气；流量检测部，检测通过泵经由吸嘴连接部向吸嘴供给的空气的流量；及清扫状态判定部，基于由流量检测部检测到的空气的流量来判定吸嘴（500）的清扫状态。

主权项

一种吸嘴检查装置，对用于吸附元件的吸嘴的清扫状态进行检查，所述吸嘴检查装置具备：清扫装置，对所述吸嘴进行清扫；安装于基台上的安装台；吸嘴保持托盘，以能够旋转的方式设于所述安装台，且在圆周上等间隔地设有以垂直状态保持所述吸嘴的多个吸嘴保持部；旋转装置，使所述吸嘴保持托盘每次旋转规定的旋转角而使所述吸嘴保持部依次转位到检查位置；上下移动装置，以能够上下移动的方式安装于所述基台；吸嘴连接部，以能够沿着上下方向移动的方式设置于所述上下移动装置，与在转位到所述检查位置的所述吸嘴的基端开口的基部侧的吸嘴孔连接或分离，并抽吸空气；流量检测部，检测经由所述吸嘴连接部从所述基部侧的吸嘴孔抽吸的空气的流量；及清扫状态判定部，基于由所述流量检测部检测出的空气的流量，在由所述清扫装置清扫后判定所述吸嘴保持托盘上的吸嘴的清扫状态。