[发明专利]用于光刻系统的图案生成器有效
| 申请号： | 201310167352.1 | 申请日： | 2013-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN103969963A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 余振华;包天一;吕志伟;许照荣;林世杰;林本坚 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 图案生成器包括：具有平面镜的平面镜阵列板、设置在平面镜阵列板上方的至少一个电极板、设置在平面镜上方的小透镜、以及夹置在平面镜阵列板和电极板之间的至少一个绝缘层。电极板包括第一导电层和第二导电层。小透镜具有在电极板中形成的非竖直侧壁。图案生成器进一步包括夹置在两个电极板之间的至少一个绝缘体。非竖直侧壁可以是U形侧壁或L形侧壁。本发明还提供了用于光刻系统的图案生成器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 系统 图案 生成器 | ||
【主权项】：
一种图案生成器，包括：平面镜阵列板，包括平面镜；第一电极板，设置在所述平面镜阵列板上方，所述第一电极板包括至少一个第一导电层和至少一个第二导电层；小透镜，设置在所述平面镜上方，所述小透镜包括在所述第一电极板中所形成的非竖直侧壁；以及第一绝缘层，夹置在所述平面镜阵列板和所述第一电极板之间。
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