[发明专利]一种液晶显示器阵列基板的制造方法有效
| 申请号： | 201310168698.3 | 申请日： | 2013-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN104122713B | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 王晓倩;王明宗;柳智忠;郑亦秀 | 申请（专利权）人： | 深超光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1343 | 分类号： | G02F1/1343;G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司44311 | 代理人： | 徐丽昕 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种液晶显示器的阵列基板的制造方法，该方法包括在基板表面上形成多个栅极、多条栅极线和多条公共电极线；形成一层栅极绝缘层覆盖该基板、该栅极和该公共电极线；在该栅极绝缘层上方形成多个像素电极；形成一层钝化层覆盖整个该基板；在该钝化层上方沉积一层透明导电层，并蚀刻形成一开孔，该开孔至少与部分该公共电极线重叠；图案化该钝化层和该绝缘层，以在开孔下方形成一通孔，该通孔贯穿该钝化层和该栅极绝缘层，并暴露出部分公共电极线；移除该透明导电层；在该钝化层上方形成一公共电极，覆盖该通孔的内表面并与该公共电极线连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶显示器 阵列 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种液晶显示器阵列基板的制造方法，该方法包括：在基板表面上形成多个栅极、多条栅极线和多条公共电极线；形成一层栅极绝缘层覆盖该基板、该栅极、该栅极线和该公共电极线；在该栅极绝缘层上方形成多个像素电极；形成一层钝化层覆盖该栅极绝缘层和该多个像素电极；形成一层透明导电层覆盖该钝化层，并图案化该透明导电层以形成一开孔，该开孔至少与部分该公共电极线重叠且该开孔与该像素电极相互隔离，该透明导电层的材质与该钝化层、该栅极绝缘层的材质不同，使得该透明导电层的刻蚀溶液与该钝化层、该栅极绝缘层的刻蚀溶液不同；以该图案化的透明导电层作为掩模，图案化该钝化层和该绝缘层，以在开孔下方形成一通孔，该通孔贯穿该钝化层和该栅极绝缘层，并暴露出部分公共电极线，所述图案化该钝化层和该绝缘层是采用蚀刻溶液对该钝化层和该绝缘层进行蚀刻，该蚀刻溶液对该透明导电层无蚀刻作用；移除该透明导电层；在该钝化层上方形成一公共电极，覆盖该通孔的内表面并与该公共电极线连接。
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