[发明专利]抛光液循环再生装置在审
| 申请号： | 201310170201.1 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN104141165A | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王坚;贾照伟;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C25F7/02 | 分类号： | C25F7/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 中国上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液循环再生装置，包括：储存槽、电源、第一循环泵及脱气装置。储存槽储存抛光液，储存槽内设置有阳极板和阴极板。电源的阳极与阳极板电连接，电源的阴极与阴极板电连接。第一循环泵的进口与储存槽的底部连接，第一循环泵的出口与脱气装置的进液口连接，脱气装置的出液口与储存槽的顶部连接，脱气装置去除抛光液中的气泡。本发明通过设置脱气装置，能够去除抛光液中的气泡。电解时，即使加大电源的电流和电压输出，以提高铜离子的析出速率，也不会影响抛光液的再次使用，且该装置是循环运行，无需向外排放废液，既不会对环境造成污染，同时也节省了原材料，降低了工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 循环 再生 装置 | ||
【主权项】：
一种抛光液循环再生装置，其特征在于，包括：储存槽、电源、第一循环泵及脱气装置；所述储存槽储存抛光液，储存槽内设置有阳极板和阴极板；所述电源的阳极与储存槽内的阳极板电连接，电源的阴极与储存槽内的阴极板电连接；所述第一循环泵的进口与储存槽的底部连接，第一循环泵的出口与脱气装置连接；所述脱气装置的进液口与第一循环泵的出口连接，脱气装置的出液口与储存槽的顶部连接，脱气装置去除抛光液中的气泡。
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