[发明专利]多晶硅的铸锭工艺无效
申请号: | 201310170316.0 | 申请日: | 2013-05-09 |
公开(公告)号: | CN103233267A | 公开(公告)日: | 2013-08-07 |
发明(设计)人: | 潘明翠 | 申请(专利权)人: | 英利集团有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明提供了多晶硅的铸锭工艺,包括步骤S1:将硅料放置在铸锭炉内,将铸锭炉的炉温提升至第一温度,将铸锭炉的炉腔压力提升至第一压力;步骤S2:将铸锭炉的炉温由第一温度升高至第二温度,当硅料开始熔化时,将炉腔压力由第一压力降至第二压力,直至硅料全部熔为液态硅;步骤S3:对液态硅进行后处理。由于在硅料开始熔化时,将炉腔压力由第一压力降至第二压力,因而使得液态硅中的氧元素以氧化硅气体从液态硅中挥发,从而降低了铸锭后得到的多晶硅锭内的氧含量、提高了晶体少子寿命,进而提高了由多晶硅锭制成的太阳能电池片的转换效率。同时,本发明中的铸锭工艺具有工艺简单的特点。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 工艺 | ||
【主权项】:
一种多晶硅的铸锭工艺,其特征在于,包括:步骤S1:将硅料放置在铸锭炉内,将所述铸锭炉的炉温提升至第一温度,将所述铸锭炉的炉腔压力提升至第一压力;步骤S2:将所述铸锭炉的炉温由所述第一温度升高至第二温度,当所述硅料开始熔化时,将所述炉腔压力由所述第一压力降至第二压力,直至所述硅料全部熔为液态硅;步骤S3:对所述液态硅进行后处理。
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