[发明专利]用于清洁线锯的线的装置和方法无效
| 申请号： | 201310170827.2 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103963182A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | J·E·朴;R·叙埃尔迪亚 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及用于清洁线锯的线的装置和方法。根据本发明，提供用于清洁适合于锯切半导体工件（130）的线锯的线（150）的装置（100、300、400、500、700）、方法和用法。装置（100、300、400、500、700）包含容器（110），容器（110）包含第一开口（115）。容器（110）由疏松固体颗粒（111）填充并经调适以使得线（150）能够经第一开口（115）通过疏松固体颗粒（111）。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洁 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于清洁适合于锯切半导体工件（130）的线锯的线（150）的装置（100、300、400、500、700），所述装置包括：包含第一开口（115）的容器（110），其中所述容器（110）由疏松固体颗粒（111）填充，并且经调适以使得所述线（150）能够通过所述第一开口（115）并通过所述疏松固体颗粒（111）。
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