[发明专利]薄膜厚度的测试方法和装置有效
| 申请号： | 201310173164.X | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103278124A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 王灿 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种薄膜厚度的测试方法和装置，涉及测试领域，能够在保证测试精度的同时，降低测量薄膜的厚度的成本。该薄膜厚度的测试方法包括：将测试掩膜覆盖在基板的表面上，所述测试掩膜具有多个镂空；对所述覆盖有测试掩膜的基板进行溅射镀膜；移除所述测试掩膜，利用探针法进行测量。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜厚度的测试方法，其特征在于，包括：将测试掩膜覆盖在基板的表面上，所述测试掩膜具有多个镂空；对所述覆盖有测试掩膜的基板进行溅射镀膜；移除所述测试掩膜，利用探针法进行测量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310173164.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
