[发明专利]新型高密度阴极等离子体源有效
| 申请号： | 201310173444.0 | 申请日： | 2013-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN103298233A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李波;吴杰峰;罗广南;王海京;韦俊;宋春 | 申请（专利权）人： | 合肥聚能电物理高技术开发有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市蜀山湖路3*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型高密度阴极等离子体源，包括有屏蔽罩，屏蔽罩中设有屏蔽筒，屏蔽筒中设有LaB6阴极、加热元件，屏蔽罩的后端设有安装基座，安装基座为水冷热沉结构，安装基座通过数个支撑杆固定在安装法兰的内壁上，安装法兰安装进气连接件作为进气口，安装法兰自外向内贯穿一个电连接件，电连接件的周围与安装法兰之间超高真空密封，电连接件的一端与加热元件连接，安装法兰外还设有一水冷电极，水冷电极通过安装法兰内的水冷接头与加热元件连接。本发明可为各种等离子体物理科研装置提供高密度等离子体源，应用广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 高密度 阴极 等离子体 | ||
【主权项】：
一种新型高密度阴极等离子体源，其特征在于：包括有屏蔽罩，屏蔽罩中设有屏蔽筒，屏蔽筒中设有LaB6阴极、加热元件，屏蔽罩的后端设有安装基座，安装基座为水冷热沉结构，安装基座通过数个支撑杆固定在安装法兰的内壁上，安装法兰安装进气连接件作为进气口，安装法兰自外向内贯穿一个电连接件，电连接件的周围与安装法兰之间超高真空密封，电连接件的一端与加热元件连接，安装法兰外还设有一水冷电极，水冷电极通过安装法兰内的水冷接头与加热元件连接。
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