[发明专利]一种扩散炉的气流均匀性检测装置有效
| 申请号： | 201310174386.3 | 申请日： | 2013-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN103257209A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 刘良玉;龙辉;范迎新;禹庆荣;吴得轶 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01P5/00 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池片工艺中使用的扩散炉的气流均匀性检测装置，扩散炉的炉体内装有硅片，炉体长度方向的两端分别为炉口和炉尾，该气流均匀性检测装置包括风速测量仪和置于炉体后方并沿炉体长度方向做直线运动的直线运动机构，风速测量仪的测量端从炉尾穿入炉体内且风速测量仪的测量端置于炉体内硅片的上方，而风速测量仪的另一端通过连接件与直线运动机构相连。本发明所述气流均匀性检测装置能精确测量炉体内的气流均匀性，整个检测装置结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 气流 均匀 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散炉的气流均匀性检测装置，扩散炉的炉体（6）内装有硅片（7），炉体（6）长度方向的两端分别为炉口（8）和炉尾（9），其特征是，该气流均匀性检测装置包括风速测量仪（4）和置于炉体（6）后方并沿炉体（6）长度方向做直线运动的直线运动机构，风速测量仪（4）的测量端从炉尾（9）穿入炉体（6）内且风速测量仪（4）的测量端置于炉体（6）内硅片（7）的上方，而风速测量仪（4）的另一端通过连接件与直线运动机构相连。
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