[发明专利]单弹性梁叉指电容加速度计

摘要

本发明涉及一种单弹性梁叉指电容加速度计，包括基底及基底上的上下锚点、叉指电容、弹性梁、质量块、连接梁和左右锚点；其特征是：所述叉指电容、弹性梁、质量块和连接梁的结构为垂直沉积叠加结构，该垂直沉积叠加结构自底层向上依次为第一SiO2图层、第一金属铝图层、第二SiO2图层、第二金属铝图层、第三SiO2图层、第三金属铝图层和钝化层，第一金属铝图层和第二金属铝图层由设置在第二SiO2图层中的第一钨塞连接，第二金属铝图层和第三金属铝图层由设置在第三SiO2图层中的第二钨塞连接；在该垂直沉积叠加结构上设置侧墙，侧墙由钝化层上表面延伸至基底上表面，在基底上设置悬空结构。本发明所述电容加速度计的灵敏度高，提高了可制造性，制造成本低。

主权项

一种单弹性梁叉指电容加速度计，包括基底（7）及基底（7）上的结构层，结构层包括上锚点（1‑1）、下锚点（1‑2）、第一叉指电容（2‑1）、第二叉指电容（2‑2）、第三叉指电容（2‑3）、第四叉指电容（2‑4）、左弹性梁（3‑1）、右弹性梁（3‑2）、左质量块（4‑1）、右质量块（4‑2）、连接梁（5）、左锚点（6‑1）和右锚点（6‑2）；所述左质量块（4‑1）的左端通过左弹性梁（3‑1）连接左锚点（6‑1），左质量块（4‑2）的右端通过连接梁（5）连接右质量块（4‑2）的左端，右质量块（4‑2）的右端通过右弹性梁（3‑2）连接右锚点（6‑2）；所述上锚点（1‑1）靠近左质量块（4‑1）和右质量块（4‑2）的侧面上设有梳齿状排列的第一叉指电容（2‑1），左质量块（4‑1）和右质量块（4‑2）的上侧面上设有梳齿状排列的第二叉指电容（2‑2），上锚点（1‑1）侧面的一个第一叉指电容（2‑1）位于两个第二叉指电容（2‑2）的空隙之间，且第一叉指电容（2‑1）与第二叉指电容（2‑2）呈等距离的交错配置；所述下锚点（1‑2）靠近左质量块（4‑1）和右质量块（4‑2）的侧面上设有梳齿状排列的第三叉指电容（2‑3），左质量块（4‑1）和右质量块（4‑2）的下侧面上设有梳齿状排列的第四叉指电容（2‑4），下锚点（1‑2）侧面的一个第三叉指电容（2‑3）位于两个第四叉指电容（2‑4）的空隙之间，且第三叉指电容（2‑3）与第四叉指电容（2‑4）呈等距离的交错配置；其特征是：所述第一叉指电容（2‑1）、第二叉指电容（2‑2）、第三叉指电容（2‑3）、第四叉指电容（2‑4）、左弹性梁（3‑1）、右弹性梁（3‑2）、左质量块（4‑1）、右质量块（4‑2）和连接梁（5）的结构为垂直沉积叠加结构，该垂直沉积叠加结构自底层向上依次为第一SiO2图层（8）、第一金属铝图层（9）、第二SiO2图层（10）、第二金属铝图层（12）、第三SiO2图层（13）、第三金属铝图层（15）和钝化层（16），第一金属铝图层（9）和第二金属铝图层（12）由设置在第二SiO2图层（10）中的第一钨塞（11）连接，第二金属铝图层（12）和第三金属铝图层（15）由设置在第三SiO2图层（13）中的第二钨塞（14）连接；在该垂直沉积叠加结构上设置多个垂直于基底（7）的侧墙（17），侧墙（17）由钝化层（16）的上表面延伸至基底（7）的上表面，在该垂直沉积叠加结构下部的基底（7）上设置悬空结构（18）。