[发明专利]混合集成的构件和用于其制造的方法有效
| 申请号： | 201310176308.7 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN103420321B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | A·弗兰克;P·韦尔纳;L·特布耶 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及混合集成的构件和用于其制造的方法。本发明提出一种措施，通过该措施明显提高在实现构件（100）的MEMS结构元件（10）的微机械结构时的设计自由度，所述构件包括用于MEMS结构元件（10）的载体（20）和用于MEMS结构元件（10）的微机械结构的盖（30），其中，所述MEMS结构元件（10）通过托脚结构（21）装配在载体（20）上。根据本发明，所述MEMS结构元件（10）以层结构的形式实现并且所述MEMS结构元件（10）的微机械结构（11）延伸经过该层结构的至少两个功能层（3，5），所述至少两个功能层通过至少一个中间层（4）相互分开。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 集成 构件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种混合集成的构件(100)，至少包括一载体(20)、一MEMS结构元件(10)和一盖(30)，·其中，该MEMS结构元件(10)通过托脚结构(21)装配在该载体(20)上和·其中，该盖(30)布置在该MEMS结构元件(10)的微机械结构(11)上方；其特征在于，所述MEMS结构元件(10)以层结构的形式实现并且所述MEMS结构元件(10)的微机械结构(11)延伸经过该层结构的至少两个功能层(3，5)，所述至少两个功能层通过至少一个中间层(4)相互分开，其中，所述MEMS结构元件(10)的所述微机械结构包括至少一个能够偏转的震动质量(11)，所述震动质量通过所述托脚结构(21)的唯一的支撑位置(23)与所述载体(20)连接。
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