[发明专利]四元系弛豫型压电单晶材料及其生长方法有效

专利信息
申请号: 201310178543.8 申请日: 2013-05-14
公开(公告)号: CN104152997B 公开(公告)日: 2018-07-20
发明(设计)人: 刘锦峰;许桂生;杨丹凤;刘莹 申请(专利权)人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
主分类号: C30B29/22 分类号: C30B29/22;C30B11/00;H01L41/187
代理公司: 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 代理人: 郑优丽
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种四元系弛豫型压电单晶材料及其生长方法,其化学式为xPb(Mg1/3Nb2/3)O3‑yPb(In1/2Nb1/2)O3‑zBiAlO3‑(1‑x‑y‑z)PbTiO3,其中0﹤x﹤1,0﹤y﹤1,0﹤z﹤1且x+y+z﹤1。生长方法为:称取除铅之外的氧化物原料,在高温下预烧;将预烧后的物料与铅的氧化物混合压块;然后在500~1250℃下保温3~20h,继续升高温度至1340~1410℃,保温3~15h,使起始料全部熔化,以0.1~1.2mm/h速度下降逐渐结晶,界面温度梯度为20~100℃/cm;生长完毕,以10~300℃/h速度冷却到室温。本发明的方法可根据需要生长不同取向、不同形状和不同尺寸的压电晶体,具有工艺设备简单、操作方便、一炉多产等优点,适合于工业规模化晶体的生长或生产。
搜索关键词: 四元系弛豫型 压电 材料 及其 生长 方法
【主权项】:
1.一种四元系弛豫型压电单晶材料,其特征在于所述压电单晶材料的化学式为0.20Pb(Mg1/3Nb2/3)O3‑0.39Pb(In1/2Nb1/2)O3‑0.12BiAlO3‑0.29PbTiO3;所述压电单晶材料的生长方法为坩埚下降法,具体包括如下步骤:步骤A) 按0.20Pb(Mg1/3Nb2/3)O3‑0.39Pb(In1/2Nb1/2)O3‑0.12BiAlO3‑0.29PbTiO3的化学计量比称取MgO、Nb2O5、In2O3、TiO2、Bi2O3和Al2O3,混合均匀成粉末,然后在900~1250℃的温度下预烧2~20h;步骤B) 将步骤A)预烧后的物料与按化学计量比称取的铅的氧化物混合均匀,压成块体得晶体生长用起始料;步骤C) 将晶体生长用起始料装入放有籽晶的坩埚中,将坩埚置入下降炉内;步骤D) 在500~1250℃温度下保温3~20h,继续升高温度至1340~1410℃,保温3~15h,使晶体生长用起始料全部熔化,并使籽晶的顶部熔化,然后坩埚以0.1~1.2mm/h速度下降,逐渐结晶生长成为晶体,生长界面的温度梯度为30℃/cm;步骤E) 待晶体生长完毕,以10~300℃/h的速度冷却到室温,得到四元系弛豫型压电单晶材料。
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