[发明专利]叠层薄膜背面钝化的太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种叠层薄膜背面钝化的太阳能电池及其制备方法，叠层薄膜背面钝化的太阳能电池包括P型晶体硅衬底、正面钝化层、正面电极层、氢化非晶硅层、背面电极层、背面电场层以及具有负的固定电荷的金属氧化物层，P型晶体硅衬底具有一正面和一背面，正面钝化层沉积在P型晶体硅衬底的正面上，正面电极层位于正面钝化层的上表面上，氢化非晶硅层沉积在P型晶体硅衬底的背面上，金属氧化物层沉积在氢化非晶硅层的下表面上，背面电极层位于金属氧化物层的下表面上，背面电场层位于背面电极层的下表面上。本发明能够提高P型晶体硅背面的钝化效果，减少背面缺陷态密度，提高其电池转换效率，而且容易在低温下制备。

主权项

一种叠层薄膜背面钝化的太阳能电池，其特征在于，它包括：一P型晶体硅衬底（1），其具有一正面和一背面；一正面钝化层（2），沉积在P型晶体硅衬底（1）的正面上；一正面电极层（3），位于正面钝化层（2）的上表面上；一氢化非晶硅层（4），沉积在P型晶体硅衬底（1）的背面上；一具有负的固定电荷的金属氧化物层（5），沉积在氢化非晶硅层（4）的下表面上；一背面电极层（6），位于金属氧化物层（5）的下表面上；一背面电场层（7），位于背面电极层（6）的下表面上。