[发明专利]波导直馈式微波等离子体炬装置

摘要

本发明提供一种波导直馈式微波等离子体炬装置，由波导部分，调谐及辅助部分，同轴炬管部分组成，波导部分包括渐变型波导、窄边压缩波导；同轴炬管部分包括外管、中管、内管、调节螺柱和同轴定心垫圈；调谐及辅助部分包括波导短路滑动端、炬管反射调谐端和炬管上部调节端，其中，波导短路滑动端由波导短路板和滑动杆组成，炬管反射调谐端包括调节螺柱和反射板。本发明将微波能通过渐变波导、窄边波导直接馈入金属同轴炬管中，形成的等离子体存在中央通道，便于样品引入，同时增强对样品的承受能力。该装置去除同轴电缆、耦合环等，提高耦合效率，扩展炬管的使用功率。可作为原子化器及原子质谱的离子化源，或有害化合物和垃圾的分解、处理。

主权项

一种波导直馈式微波等离子体炬装置，其特征在于，该装置由波导部分、调谐及辅助部分、同轴炬管部分组成，波导部分由渐变型波导（30）、窄边压缩波导（31）构成，其中，窄边压缩波导（31）和与之匹配的MPT三管同轴炬管构成了波导直馈式MPT主体部分，窄边压缩波导（31）为微波馈入主体波导；同轴炬管（32）部分由外管（14）、中管（11）、内管（10）、调节螺柱（13）和同轴定心垫圈（12）构成，外管（14）、中管（11）、内管（10）为同轴结构，其中外管（14）内径为20‑28mm，中管（11）外径为5‑10mm，外管（14）和中管（11）径比为2.3‑5之间，内管（10）半径为1‑3mm，同轴定心垫圈（12）设有多个对称小孔，且位于内管（10）和中管（11）之间，外管（14）和中管（11）之间选PTFE用于保持同心；调谐及辅助部分由波导短路滑动端（35）、炬管反射调谐端（34）和炬管上部调节端（33）构成，其中，波导短路端（35）由波导短路板（15）和滑动杆（16）组成，炬管反射调谐端（34）包括调节螺柱（13）和反射板（19）。