[发明专利]一种超高纯硫酸制造方法无效
| 申请号： | 201310180543.1 | 申请日： | 2013-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN104163403A | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 殷福华;朱龙;邵勇 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B17/90 | 分类号： | C01B17/90 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种超高纯硫酸制造方法，制作步骤是将工业硫酸经过氧化处理，并进行沉淀分离，澄清硫酸；将经过澄清的硫酸反倒入连续精馏处理系统，做电加热连续精馏处理；将精馏过的硫酸反倒入超净过滤纯净系统做超净过滤、超净分装。本发明提供的一种超高纯硫酸的制备方法，其等级达到PPT等级，生产出含量95-97％、金属杂质控制在1PPb以内，完全满足极大规模集成电路的生产制造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硫酸 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种超高纯硫酸制造方法，其特征在于，超高纯硫酸的制作步骤如下：(1)将工业硫酸经过氧化处理，并进行沉淀分离，澄清硫酸；(2)将步骤(1)澄清的硫酸反倒入连续精馏处理系统，做电加热连续精馏处理；(3)将步骤(2)精馏过的硫酸反倒入超净过滤纯净系统做超净过滤、超净分装。
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