[发明专利]一种光阻涂布机

摘要

本发明公开了一种光阻涂布机，包括：一光刻胶喷嘴，一干涉条设置于所述光刻胶喷嘴的前方，一喷流回吸装置设置于所述干涉条的前方，所述喷流回吸装置包括空气驱动装置和喷流回吸主体；所述喷流回吸主体的上端与所述干涉条枢接；所述喷流回吸主体下端开口；所述喷流回吸主体包含喷流腔体和吸入腔体，所述喷流腔体和所述吸入腔体的底部均与空气连通，在所述空气驱动装置的驱动下，从所述喷流腔体喷流出的气体，所述吸入腔体吸入气体；所述喷流回吸主体的下端不与所述玻璃基板相接触。本发明通过喷流回吸装置的强力吸流，将掉落在玻璃基板上的颗粒物，同时通过另一吸流口将颗粒物吸入，以生成除了传感器和干涉条以外的第三道关卡，提高成品率。

主权项

一种光阻涂布机，包括：一光刻胶喷嘴（0），用于在一玻璃基板（3）上进行光阻涂布；一干涉条（2）设置于所述光刻胶喷嘴（0）的前方；其特征在于：一喷流回吸装置（4）设置于所述干涉条（2）的前方，所述喷流回吸装置（4）包括空气驱动装置和喷流回吸主体；所述喷流回吸主体的上端与所述干涉条（2）枢接；所述喷流回吸主体下端开口；所述喷流回吸主体包含喷流腔体（41）和吸入腔体（42），所述喷流腔体（41）和所述吸入腔体（42）的底部均与空气连通，在所述空气驱动装置的驱动下，从所述喷流腔体（41）喷流出的气体，所述吸入腔体（42）吸入气体；所述喷流回吸主体的下端不与所述玻璃基板（3）相接触。