[发明专利]片状结构、片状结构的制造方法及电子器件有效

专利信息
申请号: 201310181339.1 申请日: 2013-05-16
公开(公告)号: CN103426842A 公开(公告)日: 2013-12-04
发明(设计)人: 山口佳孝;作山诚树;水野义博;岩井大介;崎田幸惠;乘松正明;浅野高治;广濑真一;八木下洋平 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: H01L23/373 分类号: H01L23/373;H01L23/433
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 金鹏;陈昌柏
地址: 日本神奈*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明公开一种片状结构、片状结构的制造方法及电子器件。该片状结构具有:束结构,包括取向为预定方向的由碳制成的多个线性结构;覆盖层,覆盖所述由碳制成的多个线性结构;以及填充层,设置在被所述覆盖层覆盖的所述由碳制成的多个线性结构之间。所述覆盖层的厚度在与所述预定方向交叉的方向上是不均匀的。本发明能够提供一种具有热传导均匀的平面的片状结构。
搜索关键词: 片状 结构 制造 方法 电子器件
【主权项】:
一种片状结构,包括:束结构,包括取向为预定方向的由碳制成的多个线性结构;覆盖层,覆盖所述由碳制成的多个线性结构;填充层,设置在被所述覆盖层覆盖的所述由碳制成的多个线性结构之间;其中,所述覆盖层的厚度在与所述预定方向交叉的方向上是不均匀的。
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