[发明专利]氩气的纯化方法及纯化装置

摘要

本发明利用紧凑、简单且低成本的设备，无需很大的纯化能量就能有效且高效地减少氩气中的杂质含有率。氩气至少含有氢、一氧化碳、氮、氧作为杂质，最初含有的氧量比与最初含有的全部的氢和一氧化碳反应所需的化学计算量多。使最初含有的氢和一氧化碳与最初含有的氧反应。接着，添加少于与氩气中的全部残留氧反应所需的化学计算量的氢，使添加的氢与氩气中的残留氧反应。接着，通过冷却来减少氩气的含水量，通过脱水操作来减少氩气的水分含有率。然后，通过变压吸附法使残留在氩气中的至少是二氧化碳、氮、氧吸附于吸附剂，该吸附剂包含活性氧化铝、沸石类吸附剂、碳分子筛。

主权项

氩气的纯化方法，其特征在于，在纯化至少含有氢、一氧化碳、氮和氧作为杂质、最初含有的氧量比与最初含有的全部的氢和一氧化碳反应所需的化学计算量多的氩气时，包括：第一反应工序，该工序中，利用催化剂使所述氩气中最初含有的氢和一氧化碳与最初含有的氧反应；氢添加工序，该工序中，向所述氩气中添加氢，该氢的量少于与通过实施所述第一反应工序而残留在所述氩气中的全部的氧反应所需的化学计算量；第二反应工序，该工序中，利用催化剂使通过实施所述第一反应工序而残留在所述氩气中的氧与所述氢添加工序中添加的氢反应；冷却工序，该工序中，将实施所述第二反应工序后的所述氩气冷却，以使其含水量减少；脱水工序，该工序中，通过脱水操作来减少实施所述冷却工序后的所述氩气的水分含有率；变压吸附工序，该工序中，通过变压吸附法使所述脱水操作后残留在所述氩气中的至少是二氧化碳、氮和氧吸附于吸附剂；在所述第一反应工序前不进行氩气的杂质浓度的分析和氢气添加，只在所述第二反应工序前进行氩气的杂质浓度的分析和氢气添加；所述吸附剂包含活性氧化铝、沸石类吸附剂和碳分子筛。