[发明专利]一种OGS电容式触摸屏的制作方法

摘要

本发明公开了一种OGS电容触摸屏的制作方法，包括以下步骤：在ITO薄膜层上涂布光刻胶；对光刻胶曝光；对光刻胶显影并硬化；蚀刻ITO薄膜层；去除光刻胶；切割裂片；ACF贴附；FOG热压；电测。通过本发明的方法可以在制作ITO图形时，在AA区域不会出现两个电极之间相互短路的现象，提高生产效率，降低人工成本，打通制程上的瓶颈问题。

主权项

一种OGS电容式触摸屏的制作方法，其特征在于，具体包括以下步骤：（1）、在基板上真空溅射ITO薄膜层，真空度：0.01~0.5Pa，温度：220~350℃，ITO薄膜层的厚度5nm~25nm；（2）、涂布光刻胶，将真空溅射的ITO薄膜层覆盖，光刻胶的厚度1000~2000nm，均匀性10%以内，预烘温度：60~100℃；紫外光波长：365nm，光通量：100mj，距离基板的尺寸100微米；（3）、在光刻胶上光刻ITO电极图形，ITO电极图案的光罩是菲林或走线铬版，对光刻胶进行曝光，即在光刻胶上光刻电极图形，曝光条件为：紫外光波长：365nm，光通量：60~150mj，光罩距离基板的尺寸20微米~200微米；（4）、对光刻胶显影并硬化，形成电极图形，采用有机碱，浓度1~4%，或者NaOH，浓度0.1~0.8%，温度：20~40℃，时间20秒~300秒，硬化温度：80~120℃，时间20~50分钟；（5）、蚀刻ITO薄膜层，形成ITO薄膜层电极图形，蚀刻使用材料：HCL15%+HNO3 6%，温度：40~60℃，时间：300~500秒；（6）、去除光刻胶，形成ITO电极，使用材料：有机溶液（以二甘醇丁醚（85%）和已醇胺按(15%)），时间5分钟内，最后用纯水漂洗；（7）、将整张大块基板进行切割裂片，并做CNC得到设计需要的成品sensor；（8）、对切割裂片好的sensor进行ACF贴附，用ACF贴附机在sensor上均匀的黏上ACF，压力：0.10~0.13MPa，温度：80~120℃，时间：2~3秒；（9）、将已贴附ACF的sensor运用热压机与FPC进行热压操作，压力：0.16~0.23MPa，温度：200~250℃，时间：10~15秒；（10）、将热压好的成品运用电测软件和电测装置电测，判断是否为良品，并将良品进行装饰包装。