[发明专利]振动片、振动片的制造方法、角速度传感器、电子设备、移动体

摘要

本发明实现了一种对振动臂的振动泄漏进行抑制的振动片。振动片(1)具备基部(11)；振动臂(20、30)，其从基部起进行延伸；第一驱动部(20a)、第二驱动部(30a)以及第一检测部(20b)、第二检测部(30b)，其被分别设置在振动臂(20、30)上；调节臂(40、50)，其以与振动臂(20、30)并行的方式而从基部(11)起进行延伸；第一调节部(40a)、第二调节部(50a)，其被设置在调节臂(40、50)各自的第一主面(12)上，在第一调节部和第二调节部中，在第一主面(12)上，层压形成有第一电极(60)、压电体层(41、42、51、52)和调节用电极(43、44、53、54)，第一调节部(40a)、第二调节部(50a)的输出信号相对于在振动臂(20、30)上未施加有角速度时由第一检测部(20b)、第二检测部（30b)产生的电荷为反相。

主权项

一种振动片，其特征在于，具备：基部；振动臂，其从所述基部起进行延伸；驱动部以及检测部，其被设置在所述振动臂上；调节臂，其以与所述振动臂并行的方式从所述基部起进行延伸；调节部，其被设置在所述调节臂的主面上，所述调节部具有第一电极、第二电极以及被设置在所述第一电极与所述第二电极之间的压电体层，所述调节臂的输出信号相对于在所述振动臂上未施加有角速度时从所述检测部输出的信号为反相。