[发明专利]浸没式光刻机浸液液体传送系统中的控制系统的控制方法有效
| 申请号： | 201310186950.3 | 申请日： | 2013-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN103279101A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 傅新;陈文昱;杨凯;张志杰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种浸没式光刻机浸液液体传送系统中的控制系统的控制方法。浸没式光刻机浸液液体传送系统包括控制系统、水处理分系统、传输控制分系统和位姿调节分系统；其中控制系统和浸没式光刻机之间采用工业总线进行连接，控制系统与水处理分系统、传输控制分系统、位姿调节分系统之间采用以太网进行数据交换，控制系统分别负责对水处理分系统、传输控制分系统或位姿调节分系统进行包括故障处理的时序控制方法。本发明能很好地实现对浸没式光刻机中浸液液体传送系统中各分系统进行精准时序控制，并且制定了故障处理机制，从而实现了浸没式光刻机中浸液液体传送的控制系统高效有序地运行。 | ||
| 搜索关键词： | 浸没 光刻 浸液 液体 传送 系统 中的 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种浸没式光刻机浸液液体传送系统中的控制系统的控制方法，其特征在于：浸没式光刻机浸液液体传送系统包括控制系统、水处理分系统、传输控制分系统和位姿调节分系统；其中控制系统和浸没式光刻机之间采用工业总线进行连接，控制系统与水处理分系统、传输控制分系统、位姿调节分系统之间采用以太网进行数据交换，控制系统分别负责对水处理分系统、传输控制分系统或位姿调节分系统进行时序控制和故障处理的时序控制。
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