[发明专利]一种功率半导体模块焊接前倒装工艺有效
申请号: | 201310188011.2 | 申请日: | 2013-05-20 |
公开(公告)号: | CN103311133A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 梁思平;董建平 | 申请(专利权)人: | 临海市志鼎电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/58 |
代理公司: | 台州市方圆专利事务所 33107 | 代理人: | 蔡正保;朱新颖 |
地址: | 317000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种功率半导体模块焊接前倒装工艺,属于电力设备半导体器件技术领域。它解决了现有的工艺制作的产品质量低和成本高的问题。本功率半导体模块焊接前倒装工艺,具体步骤如下:先在底层放置支架,其支架上设有安装槽,在安装槽的第一层放置引出电极,第二层放置内部互连电极,第三层放置管芯或芯片,第四层防止绝缘片或DBC基片,第五层放置底板,每层放置的部件分别通过支架进行定位、支撑和固定。本倒装工艺能够提高功率半导体模块的生产率,并且生产的产品质量更好,成本更低。 | ||
搜索关键词: | 一种 功率 半导体 模块 焊接 倒装 工艺 | ||
【主权项】:
一种功率半导体模块焊接前倒装工艺,所述的功率半导体模块包括底板(6)、绝缘片或DBC基片(5)、管芯或芯片(4)、内部互连电极(3)和引出电极(2),其特征在于,该倒装工艺的具体步骤如下:步骤一、制作一个具有安装槽(1a)并通过安装槽(1a)对功率半导体模块中各部件进行支撑和固定的支架(1);步骤二、将引出电极(2)放置在支架(1)的安装槽(1a)内并进行定位固定,所述的引出电极(2)包括用于连接外接电路的引出极(2a)和用于与功率半导体模块中其他部件连接的焊接极(2b),其引出极(2a)朝下插入支架(1)的安装槽(1a)中,焊接极(2b)朝上;步骤三、将内部互连电极(3)放置在引出电极(2)上并由支架(1)进行定位固定,其内部互连电极(3)通过焊接片(7)与引出电极(2)的焊接极(2b)相连;步骤四、将管芯或芯片(4)放置在内部互连电极(3)上,管芯或芯片(4)通过焊接片(7)和钼片与内部互连电极(3)相连;步骤五、将绝缘片或DBC基片(5)放置在管芯或芯片(4)上,并通过支架(1)定位固定,其绝缘片或DBC基片(5)通过焊接片(7)与管芯或芯片(4)相连;步骤六、在绝缘片或DBC基片(5)上放置底板(6),其底板(6)通过焊接片(7)与绝缘片或DBC基片(5)相接,并由支架(1)进行固定、支撑和定位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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