[发明专利]一种X射线光谱仪

摘要

本发明提出了一种X射线光谱仪，包括X射线产生系统：包括用于激发样品中X射线的X射线管、用于提供X射线管电源的高压电源以及用于冷却X射线管的冷却装置；分光装置系统：包括用于承载样品和抽真空的真空系统测量室以及与真空系统测量室外部连接的分光器；信号采集处理系统：用于接收分光器发出的X射线将其转化为电信号，将电信号放大，并将放大的电信号的数据进行采集和处理；监控系统：用于实时智能的监控真空系统和X射线产生系统；PC机控制系统：用于将信号采集处理系统得到的数据进行数据运算处理。本发明提出的一种X射线光谱仪，监控系统通过GPS与仪器直接进行联系，作到对仪器进行定期检查与维护，实时的诊断整机系统状况。

主权项

一种X射线光谱仪，其特征在于，包括：X射线产生系统：包括用于激发样品中X射线的X射线管、用于提供所述X射线管电源的高压电源以及用于冷却所述X射线管的冷却装置；分光装置系统：包括用于承载样品和抽真空的真空系统测量室以及与所述真空系统测量室外部连接的分光器，所述真空系统测量室包括用于承载样品的载物台和将所述样品发射出的X射线分类的分光室，所述分光器用于将从所述分光室中发射出的X射线再次分光；信号采集处理系统：用于接收所述分光器发出的X射线将其转化为电信号，将所述电信号放大，并将所述放大的电信号的数据进行采集和处理，包括用于探测所述分光器的计数管、用于将所述电信号放大的前置放大器以及数据处理系统；监控系统：用于实时智能的监控所述真空系统和所述X射线产生系统；PC机控制系统：用于将所述信号采集处理系统得到的数据进行数据运算处理。