[发明专利]利用受控的固体形态学的流体的基于固体前体的传送

摘要

本发明涉及利用受控的固体形态学的流体的基于固体前体的传送。具体地，本发明揭一种用于挥发来源试剂的装置及方法，该来源试剂易于在对应的来源试剂蒸气中产生颗粒或存有颗粒，其中此颗粒产生或存在可藉由蒸气产生系统的结构或处理特性元件而压抑。此装置及方法可用于液体及固体来源试剂，特别是固体来源试剂，如金属卤化物，如氯化铪。在一特定实施例中，此来源试剂系以该来源试剂材料之一多孔性单块型整体形式构成。本发明之装置及方法用于提供来源试剂蒸气于如原子层沉积(ALD)及离子植入的应用中。

主权项

一种结硬的来源试剂材料，其适合于被蒸发以产生试剂蒸汽，所述结硬的来源试剂材料包含经历热处理的来源试剂材料的物质，所述热处理将一部分所述来源试剂材料的物质熔合成结硬部分，该结硬部分具有与所述来源试剂材料的非熔合部分相比形态学不同的特征，其中所述结硬部分覆盖所述来源试剂材料的内部部分，该内部部分包括所述来源试剂材料的非熔合部分。