[发明专利]三氯氢硅直接歧化制备硅烷的反应精馏方法及设备有效
申请号: | 201310192052.9 | 申请日: | 2013-05-22 |
公开(公告)号: | CN103241743A | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | 黄国强;王国锋;王红星;陈锦溢 | 申请(专利权)人: | 黄国强 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300073 天津市*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明涉及三氯氢硅直接歧化制备硅烷的反应精馏方法及设备,将纯度达到9N以上精制三氯氢硅,通入一步歧化反应精馏塔制备硅烷;歧化反应精馏塔塔顶气相采出反应产物,利用压差进入硅烷塔,塔底得到氯硅烷混合物,进入四氯化硅塔;硅烷塔塔顶得到高纯液相硅烷产品,塔底得到未反应的氯硅烷返回歧化反应精馏塔;四氯化硅塔顶得到未反应的氯硅烷返回歧化反应精馏塔,塔底得到四氯化硅产品。对低于9N以下的精制三氯氢硅原料,三氯氢硅首先经过一台隔板精馏塔,脱除轻重杂质后得到纯度达到9N以上的三氯氢硅。本发明在一台反应精馏塔中实现一步歧化反应,精简设备,同时避免了大量的物料分离循环反应,缩短流程,节能降耗。使得硅烷产品纯度更高。 | ||
搜索关键词: | 三氯氢硅 直接 制备 硅烷 反应 精馏 方法 设备 | ||
【主权项】:
三氯氢硅直接歧化制备硅烷的反应精馏方法,其特征是将纯度达到9N以上精制三氯氢硅,通入一步歧化反应精馏塔制备硅烷;歧化反应精馏塔塔顶气相采出反应产物,利用压差进入硅烷塔,塔底得到氯硅烷混合物,进入四氯化硅塔;硅烷塔塔顶得到高纯液相硅烷产品,塔底得到未反应的氯硅烷返回歧化反应精馏塔;四氯化硅塔塔顶得到未反应的氯硅烷返回歧化反应精馏塔,塔底得到四氯化硅产品。
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