[发明专利]导电薄膜、其制备方法及应用无效
| 申请号： | 201310192124.X | 申请日： | 2013-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN104178727A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 周明杰;王平;陈吉星;冯小明 | 申请（专利权）人： | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;H01L51/56;H05B33/10 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种导电薄膜，包括层叠的TiO2-xFx层及MoO3层，其中，x为0.1～0.6。上述导电薄膜通过在TiO2-xFx层的表面沉积及高功函的MoO3层制备双层导电薄膜，既能保持TiO2-xFx层的良好的导电性能，又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种导电薄膜，其特征在于，包括层叠的TiO2‑xFx层及MoO3层，其中，x为0.1～0.6。
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