[发明专利]一种用于物镜镜片调节的手动微调机构有效
申请号: | 201310192727.X | 申请日: | 2013-05-22 |
公开(公告)号: | CN104181665B | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 马晓晴;马很很 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于物镜镜片调节的手动微调机构,连接镜筒和镜组,包括三个均布于镜筒圆周上的调节组件,调节组件包括上螺杆、下螺杆和固定座,上螺杆和下螺杆上分别设有第一外螺纹和第二外螺纹,固定座上设有与第一外螺纹相匹配的第一内螺纹,固定座固定于镜筒上;镜组上设有与第二外螺纹相匹配的第二内螺纹,第一外螺纹与第二外螺纹螺距不同,所述上下螺杆之间柔性连接。本发明中,旋转上螺杆,上下螺杆相对于镜筒产生Z向位移,同时所述的镜座相对于上下螺杆产生Z向位移,镜筒与镜组之间产生Z向相对位移,以此形成差分调节,提高调节的精度;上下螺杆之间柔性连接,以减小上下螺杆对镜组产生的应力,保证倾斜调节量,且结构简单,便于实现。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 物镜 镜片 调节 手动 微调 机构 | ||
【主权项】:
一种用于物镜镜片调节的手动微调机构,连接镜筒和镜组;调节所述镜筒和镜组的相对位置,其特征在于,包括三个均布于所述镜筒圆周上的调节组件,所述调节组件包括上螺杆、下螺杆和固定座,所述上螺杆上设有第一外螺纹,所述下螺杆上设有第二外螺纹,所述固定座上设有与所述第一外螺纹相匹配的第一内螺纹,所述固定座固定于所述镜筒上;所述镜组上设有与所述第二外螺纹相匹配的第二内螺纹,所述第一外螺纹与第二外螺纹螺距不同,所述上螺杆和下螺杆之间柔性连接,所述第一外螺纹的螺距为P1,所述第二外螺纹的螺距为P2,且P2>P1,形成差分调节。
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