[发明专利]一种气体分布板及其制作方法在审
| 申请号： | 201310193638.7 | 申请日： | 2013-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN104183450A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 彭帆;徐朝阳;浦远;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体分布板及其制作方法，将气体分布板设置为上层板和下层板，设置上下相匹配的凸起板和凹槽，并使得所述凸起板的尺寸略小于所述凹槽的尺寸，确保上层板和下层板嵌合时凸起板侧壁和气体挡板侧壁之间，气体挡板和气体通孔末端之间分别保留一狭小的缝隙，作为反应气体注入等离子体反应腔的气体通道。简化了气体分布板的制作难度，提高了气体通道的致密度，从而提高了反应气体注入等离子体反应腔内的均匀度，满足了刻蚀空间减小和气流增大的发展趋势对气体均匀分布的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 分布 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种气体分布板，其特征在于：所述分布板包括上层板和下层板，所述上层板包括若干气体通孔和环绕所述气体通孔设置的凸起板，所述下层板包括凹槽和气体挡板；所述上层板和所述下层板固定连接，所述上层板的凸起板嵌入所述下层板的凹槽内，所述下层板的气体挡板位于所述气体通孔末端下方，并与所述气体通孔末端设置第一气体通道，所述气体挡板与所述上层板的凸起板侧壁设置第二气体通道，所述第一气体通道和所述第二气体通道气体联通。
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