[发明专利]一种连续制备大面积石墨烯薄膜的方法及装置

摘要

本发明涉及一种连续制备大面积石墨烯薄膜的方法及装置。该装置包括外罩、箱式加热炉、四个卷轴、真空系统、冷却系统、气体输送系统。上述方法包括：将卷曲的铜箔绕在卷轴上，经过箱式加热炉的炉膛；将炉膛内维持在常压或者10-50Pa的真空度；将外罩内部抽空，通入氩气或氮气，置换出外罩内部的空气；向炉膛内通入氩气和氢气，先预热至500℃，使第四卷轴运行，带动铜箔通过炉膛；当温度达到反应温度时，向炉膛中通入甲烷或者乙炔进行反应，使铜箔表面开始连续生长石墨烯薄膜；当石墨烯薄膜生长完之后，停止通入甲烷气或者乙炔气，持续通入氩气和氢气；冷却至室温，取出铜箔，将铜箔与石墨烯薄膜分离，得到所述大面积石墨烯薄膜。

主权项

一种连续制备大面积石墨烯薄膜的装置，其包括外罩、箱式加热炉、四个卷轴、真空系统、冷却系统、气体输送系统，其中，所述箱式加热炉、四个卷轴、真空系统、冷却系统、气体输送系统位于所述外罩内部；所述外罩为密封的，所述真空系统用于对外罩内部和箱式加热炉内部抽真空；所述箱式加热炉用于对经过其中心的铜箔进行加热；所述气体输送系统用于向外罩和箱式加热炉的炉膛中输入气体；所述卷轴用于输送铜箔，所述四个卷轴分别为相互平行的第一卷轴、第二卷轴、第三卷轴、第四卷轴，第一卷轴、第二卷轴与第三卷轴、第四卷轴分别位于所述箱式加热炉的两侧，所述四个卷轴用于运行铜箔使其通过所述箱式加热炉的炉膛；所述冷却系统用于对从所述箱式加热炉离开的铜箔进行冷却。