[发明专利]半导体材料微区应力测试系统

摘要

本发明公开了一种半导体微区应力测试系统。系统包括激光光源、空间滤波器、起偏器、检偏器、物镜、载物台、光弹性调制器、探测器及锁相放大器，采用计算机控制逐点扫描并采集处理数据。通过测量材料表面相互垂直的两个方向上的光强反射比率差ΔR/R求得测试材料的应力分布。本发明可以克服其它测试系统带来的负面影响，对于材料不具有损伤性，小范围的表征材料应力的分布情况，测试过程简单快捷，测试精度高。

主权项

一种半导体材料微区应力测试系统，用于测试样品(S)的微区应力，其特征在于：该系统包括线偏振激光源(1)、光相位调制器(2)、分光器(3)、物镜(4)、载物台(5)、检偏器(6)、斩波器(7)和信号采集系统(8)；其中，所述线偏振激光源(1)用于产生线偏振激光，并将产生的线偏振激光送到光相位调制器；所述光相位调制器(2)用于所述线偏振激光在该光相位调制器(2)的主轴和它的垂直方向上产生固定的相位差；所述载物台(5)用于承载所测试材料的样品，并调节该测试材料样品的位置；所述分光器(3)用于使经过所述光相位调制器(2)光入射到样品(S)，同时，使由样品(S)的反射光透射，从而将样品(S)的入射光和反射光分开；检偏器(6)用于接收所述样品(S)的反射光，检测特定方向上光波的振幅；斩波器(7)用于将光波调制成特定频率的交流信号；信号采集系统(8)用于接收所述样品(S)的反射光，将其转换为电信号后进行处理，得到样品(S)的微区应力。