[发明专利]半导体器件及其制造方法有效
申请号: | 201310195137.2 | 申请日: | 2013-05-23 |
公开(公告)号: | CN103515424B | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
发明(设计)人: | 韩振宇 | 申请(专利权)人: | 美格纳半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423;H01L29/40;H01L21/28;H01L29/78 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 朱胜;李春晖 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供了一种半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:包括沟槽的衬底;第一电极,布置在沟槽之下;第二电极,布置在沟槽之上,第一绝缘层布置在第一电极与第二电极之间;第一触点,布置在衬底的第一方向上并且连接到第一电极;以及第二触点,布置在不同于第一方向的第二方向上,第二触点连接到第二电极。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,其包括:包括沟槽的衬底;第一电极,布置在所述沟槽的底部上;第二电极,布置在所述第一电极上,第一绝缘层布置在所述第一电极与所述第二电极之间;第一触点,被布置成与所述第一电极的延伸部接触;以及第二触点,被布置成与所述第二电极的延伸部接触,其中,所述第一电极的延伸部在所述衬底的第一方向上延伸,并且所述第二电极的延伸部在所述衬底的第二方向上延伸,所述第二方向垂直于所述第一方向。
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