[发明专利]一种导电石墨烯薄膜及其制备方法和应用无效
申请号: | 201310196701.2 | 申请日: | 2013-05-23 |
公开(公告)号: | CN104183300A | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | 周明杰;冯小明;陈吉星;王平 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00;H01L51/52 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种导电石墨烯薄膜,包括玻璃基板;以及设置在玻璃基板表面的功能层;所述功能层包括第一石墨烯层、第二石墨烯层以及介于第一石墨烯层和第二石墨烯层之间的铝掺杂氧化锌层;所述第一石墨烯层和第二石墨烯层的厚度均为40nm~80nm,所述铝掺杂氧化锌层的厚度为20nm~40nm,该导电石墨烯薄膜具有良好的透光率和导电性,本发明还提供了导电石墨烯薄膜的制备方法,包括以下步骤:提供洁净基板,在基板上采用气相沉积的方法制备第一石墨烯层;然后在第一石墨烯层上采用磁控溅射的方法制备铝掺杂氧化锌层,最后在铝掺杂氧化锌层上沉积第二石墨烯层,制备方法简单,本发明还提供了导电石墨烯薄膜的应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 导电 石墨 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
一种导电石墨烯薄膜,其特征在于,包括:玻璃基板;以及设置在玻璃基板表面的功能层;所述功能层包括第一石墨烯层、第二石墨烯层以及介于第一石墨烯层和第二石墨烯层之间的铝掺杂氧化锌层;所述第一石墨烯层和第二石墨烯层的厚度均为40nm~80nm,所述铝掺杂氧化锌层的厚度为20nm~40nm。
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