[发明专利]一种聚合物缓蚀剂及其制备方法有效
申请号: | 201310199141.6 | 申请日: | 2013-05-24 |
公开(公告)号: | CN103289670A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 付朝阳;王江顺;何金杯;刘昌程 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学;武汉华科特新技术有限公司 |
主分类号: | C09K8/74 | 分类号: | C09K8/74;C08G65/333;C08G65/28 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 夏惠忠 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供了一种聚合物缓蚀剂及其制备方法,其制备方法是:在容器中加入引发剂、催化剂与卤代环氧丙烷于0~25℃下混合反应3~10小时,再加入烷基吡啶,于90~150℃下回流冷凝反应2~6小时,得到本发明聚合物缓蚀剂;其中引发剂、催化剂、卤代环氧丙烷与烷基吡啶加入的质量比为1~2:1~2:40~100:10~50。本发明的缓蚀剂具有水溶性好、用量少、缓蚀效果好等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 聚合物 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.具有以下式(I)结构通式的聚合物缓蚀剂,
其中:X为卤素;n为1至15的正整数,优选为2至10的正整数;取代基R1、R2、R3、R4和R5各自独立或分别为取代或未取代的烷基或氢,且R1、R2、R3、R4和R5中至少有2个取代基为氢,且R1、R2、R3、R4和R5不同时为氢。
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