[发明专利]探针卡的检测方法有效
| 申请号： | 201310199768.1 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103293503B | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 唐莉 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 张亚利,骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种探针卡的检测方法，包括提供晶圆，在所述晶圆上分布多个导电区，至少两个导电区电连接且任意一个导电区只与一个导电区电连接；将所述探针卡上的探针与晶圆上的导电区对位；测得与电连接的两个导电区对位的两个探针之间的接触电阻；若所述接触电阻位于预期电阻范围内，则判定对应所述接触电阻的两个探针合格；若所述接触电阻超出预期电阻范围，则判定对应所述接触电阻的两个探针不合格。使用本发明的检测方法，可以精确测得每个探针是否出现问题，使得后续工艺可以针对出现问题进行进一步检查，进而作出适时更换或修理探针卡。另外，可以及早发现问题探针，并排除问题探针对后续晶圆测试的影响，进而提高晶圆测试的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种探针卡的检测方法，其特征在于，包括：提供晶圆，在所述晶圆上分布多个导电区，至少两个导电区电连接且任意一个导电区只与一个导电区电连接；将所述探针卡上的探针与晶圆上的导电区对位；测得与电连接的两个导电区对位的两个探针之间的接触电阻；若所述接触电阻位于预期电阻范围内，则判定对应所述接触电阻的两个探针合格；若所述接触电阻超出预期电阻范围，则判定对应所述接触电阻的两个探针不合格。
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