[发明专利]具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置及其方法

摘要

一种具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统，纠偏执行机构设置于真空环境中，电驱动件和控制系统设置于常压环境中，纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏传感器和连接杆，电驱动件和导向轮机构通过连接杆连接，电驱动件与纠偏传感器均与控制系统电连接，纠偏传感器检测卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，控制系统接收纠偏传感器输出的偏移信号而控制电驱动件驱动连接杆的运动，通过连接杆的运动而调整导向轮机构的方向，从而达到卷性材料张力调整等纠偏的目的；同时避免电驱动件受到真空等离子的腐蚀作用，也解决了电驱动件设置于真空环境中散热不好的问题，提高了纠偏装置的使用寿命。

主权项

一种具有在真空等离子环境中调整张力的纠偏装置，其特征在于，包括电驱动件、纠偏执行机构和控制系统，所述纠偏执行机构设置于隔离框架形成的真空环境中，所述电驱动件和所述控制系统设置于常压环境中，所述纠偏执行机构包括导向轮机构、纠偏传感器和连接杆，所述电驱动件和所述导向轮机构通过所述连接杆连接，所述电驱动件与所述纠偏传感器均与所述控制系统电连接，所述纠偏传感器检测卷性材料的偏移方向并输出相应的偏移信号，所述控制系统接收所述纠偏传感器输出的偏移信号而控制所述电驱动件调整所述导向轮机构的方向，以使所述纠偏执行机构调整卷性材料的位置。