[发明专利]蓝宝石衬底用去蜡清洗剂在审
| 申请号： | 201310201274.2 | 申请日： | 2013-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN104178367A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 高如山 | 申请（专利权）人： | 天津西美半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/831 | 分类号： | C11D1/831;C11D3/26;C11D3/04;C11D3/37;C11D3/10;C11D3/60 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 300384 天津市华苑产业区海泰发*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蓝宝石衬底用去蜡清洗剂的制备方法，其特征在于：所述蓝宝石衬底用去蜡清洗剂含有淀粉糖苷表面活性剂、其它表面活性剂、助溶剂、金属络合物、悬浮剂、水质软化剂或抗硬水剂、缓蚀剂和纯水，其特征在于，所述的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂含5-15％重量的淀粉糖苷表面活性剂，5-20％重量的其它表面活性剂，3-5％重量的助溶剂，3-5％重量的金属络合物，0.01-1％重量的水质软化剂或抗硬水剂，0.5-1％的重量的悬浮剂和10-20％重量的蓝宝石衬底腐蚀剂和适量的纯水；本发明的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂为水基环保型清洗剂，清洗后清洗剂15天内可自行降解；且只需进行一次清洗即可达到清洗要求，提高了生产效率，加入了缓蚀剂保证清洗过程中清洗剂不会对蓝宝石表面造成严重腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 用去蜡清 洗剂 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底用去蜡清洗剂，其特征在于：该蓝宝石衬底用去蜡清洗剂含5‑15％重量的烷基糖苷表面活性剂，5‑20％的其它表面活性剂，3‑5％重量的助溶剂，3‑5％重量的金属络合物，0.5‑1％的重量的悬浮剂，0.01‑1％重量的水质软化剂或抗硬水剂和10‑20％重量的蓝宝石衬底腐蚀剂和适量的纯水；本发明的蓝宝石衬底用去蜡清洗剂为水基环保型清洗剂，清洗后清洗剂15天内可自行降解；且清洗效率高，只需进行一次清洗即可达到清洗要求，提高了生产效率，加入了缓蚀剂保证清洗过程中清洗剂不会对蓝宝石表面造成严重腐蚀。
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