[发明专利]一种玻璃微通道的制作方法无效
| 申请号： | 201310203219.7 | 申请日： | 2013-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN103265179A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 叶嘉明 | 申请（专利权）人： | 苏州扬清芯片科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明采用的技术方案是在玻璃基片表面采用雕刻有镂空图形的双面胶为牺牲层，再结合湿法刻蚀制作玻璃微通道。制作过程无需使用光刻方法所需的试剂与设备，加工快速简便，成本低，特别适合于玻璃微流控芯片快速、大批量的制备。使用本发明提供的方法还可以应用于硅、石英或金属基底上的微通道制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 通道 制作方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃微通道的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)用计算机辅助设计软件设计和绘制微通道图形，并在双面胶基材上加工出镂空的微通道结构；2)将加工好的双面胶掩膜和玻璃基片粘贴封合；3)将玻璃基片放入氢氟酸腐蚀液中进行湿法刻蚀，刻蚀至所需深度后取出，将双面胶从基片表面剥离，得到具有微凹槽结构的玻璃基片。
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