[发明专利]谱数据分析的方法和系统有效
| 申请号： | 201310203778.8 | 申请日： | 2009-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN103776855B | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | D·R·科贝特;P·戈特利布;M·J·欧文;A·H·门兹斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/207 | 分类号： | G01N23/207 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 杜娟娟,王忠忠 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种谱数据分析的方法和系统。该方法包含以下步骤收集未知材料的谱；提供一组元素数据模板；在逼近该谱时计算针对该元素数据模板的最小二乘方加权；在逼近该谱时除去一个或更多个有负加权的模板；以及在所述一个或更多个模板被除去的情况下重新计算该谱的逼近。 | ||
| 搜索关键词： | 数据 分析 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种样品的谱数据分析方法，该方法包含以下步骤：收集未知材料的谱；提供一组第一数据模板，每个第一数据模板对应于具体材料；确定要被应用于该第一数据模板以逼近该谱的一组加权因子，该加权因子是通过最小化已加权的第一数据模板和该谱之间的误差因子而确定的；除去具有负加权因子的第一数据模板的一个或更多个；通过用所除去的所述一个或更多个第一数据模板来计算该谱的逼近来逼近该谱；以及从该谱的逼近中所使用的第一数据模板的该加权因子确定存在于该样品中的材料。
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