[发明专利]一种机器视觉滤光片的制作方法无效
| 申请号： | 201310204282.2 | 申请日： | 2013-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN103278874A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 韩秀峰;朱凯敏 | 申请（专利权）人： | 上海梅轩实业有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;C03C17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201101 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机器视觉滤光片的制作方法，包括以下步骤：A、切割：将玻璃基片按照设备的要求尺寸进行切割，其中玻璃基片采用无色玻璃基片；B、清洗：将切割后的玻璃基片放入纯水中浸泡，并使用超声波进行振荡清洗；C、干燥：使用风干的方式对清洗后的玻璃基片进行干燥；D、镀制主膜：采用离子束辅助电子束蒸发镀膜工艺进行主膜的镀制；E、镀制副膜：镀制好主膜后，使用与步骤D中相同的工艺在玻璃基片的另一面镀制副膜；F、后处理：使用内圆切割机对镀膜完毕的玻璃基片进行磨边处理。本发明利用一系列科学的制作工艺，使得制作机器视觉滤光片的成本大大降低，机器视觉滤光片的信噪比已达1000∶1的水平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机器 视觉 滤光 制作方法 | ||
【主权项】：
一种机器视觉滤光片的制作方法，其特征在于步骤如下：A、切割：将玻璃基片按照设备的要求尺寸进行切割，其中玻璃基片采用无色玻璃基片；B、清洗：将切割后的玻璃基片放入纯水中浸泡，并使用超声波进行振荡清洗；C、干燥：使用风干的方式对清洗后的玻璃基片进行干燥；D、镀制主膜：将玻璃基片放入镀膜腔室中，将镀膜腔室的真空度抽至0.003Pa，玻璃基片温度预热至320℃后，开启工艺气体和霍尔离子源，采用离子束辅助电子束蒸发镀膜工艺进行主膜的镀制；E、镀制副膜：镀制好主膜后，使用与步骤D中相同的工艺在玻璃基片的另一面镀制副膜；F、后处理：使用内圆切割机对镀膜完毕的玻璃基片进行磨边处理。
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