[发明专利]一种判别多晶硅薄膜无序度的方法无效
| 申请号： | 201310205292.8 | 申请日： | 2013-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN103323444A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 王权;邵盈;张艳敏;毛伟;胡然;刘小颖;闫超 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅薄膜，特指一种判别多晶硅薄膜无序度的方法，用激光拉曼普仪测试多晶硅薄膜的拉曼光谱，获得多晶硅薄膜拉曼散射峰的频移值和半高宽，计算多晶硅薄膜的无序度。本发明对薄膜没有任何损坏，属于半导体薄膜材料领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 判别 多晶 薄膜 无序 方法 | ||
【主权项】：
1.一种判别多晶硅薄膜无序度的方法，其特征是：利用拉曼光谱对多晶硅薄膜进行表征，获得多晶硅薄膜拉曼散射峰的频移值和半高宽，计算出多晶硅薄膜的无序度，即![]()
式中C即为无序度，![]()
=520 cm-1为理想多晶硅薄膜拉曼散射峰的峰位，![]()
为实验获得的多晶硅薄膜拉曼散射峰的峰位，![]()
为拉曼散射峰的半高宽，利用上述公式，能够计算出所制备多晶硅薄膜的无序度。
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