[发明专利]导电薄膜、其制备方法及其应用无效

专利信息
申请号: 201310207287.0 申请日: 2013-05-29
公开(公告)号: CN104217787A 公开(公告)日: 2014-12-17
发明(设计)人: 周明杰;王平;陈吉星;张振华 申请(专利权)人: 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
主分类号: H01B5/14 分类号: H01B5/14;H01B13/00;H01L51/52;H01L51/56;C23C14/35;C23C14/24;C23C14/08;C23C14/18
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种导电薄膜,包括层叠的ZnO层,导电层及V2O5层,其中导电层的材料选自金,银,铜和铂中的一种。上述导电薄膜通过在ZnO层的表面沉积导电层及高功函的V2O5层制备多层导电薄膜,ZnO层既作为缓冲层和匹配层,使导电薄膜的功函数得到了显著的提高并具有较高的透光性。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。
搜索关键词: 导电 薄膜 制备 方法 及其 应用
【主权项】:
一种导电薄膜,其特征在于,包括层叠的ZnO层,导电层及V2O5层,其中导电层的材料选自金,银,铜和铂中的一种。
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