[发明专利]多晶硅铸锭硅固液分离方法及设备有效
申请号: | 201310210007.1 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN103266351A | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 谭毅;姜大川;石爽;任世强 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人: | 徐淑东 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提供一种多晶硅铸锭硅固液分离方法及设备,该多晶硅铸锭硅固液分离方法包括以下步骤:将硅料在容器内熔化成熔融硅料,拉锭至熔融硅料中硅液的量为10~20%时,采用与容器横截面相配合的压板对熔融硅料施加压力,熔融硅料内部硅液在压力作用下沿容器与压板之间的缝隙被挤压至压板之上;待硅液全部挤压至压板之上,停止对熔融硅料施加压力;压板下方为高纯度铸锭。本发明还公开了一种能实现多晶硅铸锭硅固液分离方法的设备。本发明克服了现有技术的诸多缺点,实现了保证富集杂质熔体与高纯度铸锭的分离的同时,抑制反向扩散,提高多晶硅生产中的出成率。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 硅固液 分离 方法 设备 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭硅固液分离方法,其特征在于,包括以下步骤:将硅料在容器内熔化成熔融硅料,拉锭至熔融硅料中硅液的量为10~20%时,采用与容器横截面相配合的压板对熔融硅料施加压力,熔融硅料内部硅液在压力作用下沿容器与压板之间的缝隙被挤压至压板之上;待硅液全部挤压至压板之上,停止对熔融硅料施加压力;压板下方为高纯度铸锭。
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