[发明专利]楔形透镜的检测装置和检测方法有效
| 申请号： | 201310210297.X | 申请日： | 2013-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN103308281A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 邵平;居玲洁;沈卫星;赵东峰;王利;周洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种楔形透镜的检测装置和检测方法，该楔形透镜检测装置构成包括4D动态干涉仪、补偿镜组、平台、标准反射镜、高精度转台调整架、立方棱镜、自准直平行光管，本发明利用机械与光学相结合的方法来测量，它能够实现高精度测量，并分别得出楔形透镜的楔角差和塔差的值。本发明可广泛应用于楔形透镜的加工和检测，特别是针对高精度的楔形透镜，此方法能够满足各种外形、大小的楔形透镜的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 楔形 透镜 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种楔形透镜的检测装置，特征在于其构成包括4D动态干涉仪（1）、补偿镜组（2）、平台、标准反射镜（4）、高精度转台调整架（5）、立方棱镜（6）、自准直平行光管（7），上述元件的位置关系如下：将待测的楔形透镜（3）置于平台上，依次设置的4D动态干涉仪（1）、补偿镜组（2）、待测的楔形透镜（3）和标准反射镜（4）组成同光轴的波前检测光路，高精度转台调整架（5）与立方棱镜（6）放置在待测的楔形透镜（3）和标准反射镜（4）之间，所述的立方棱镜（6）放置在所述的高精度转台调整架（5）上，立方棱镜（6）的四个侧面平行于所述的高精度转台调整架（5）的转轴，所述的高精度转台调整架（5）的转轴垂直于检测光路的光轴，所述的自准直平行光管（7）的光轴同时垂直于检测光路的光轴和所述的高精度转台调整架（5）的转轴。
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