[发明专利]非对称相位可调马赫-曾德干涉仪及其制备方法有效
| 申请号： | 201310216575.2 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103268001A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 孙小菡;蒋卫锋 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02B6/28 | 分类号： | G02B6/28 |
| 代理公司： | 江苏永衡昭辉律师事务所 32250 | 代理人： | 齐旺 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种非对称相位可调马赫-曾德干涉仪及其制备方法，干涉仪包括平面光波光路PLC芯片和外接导光臂，平面光波光路PLC芯片包括硅衬底，在硅衬底上设有二氧化硅缓冲层，在二氧化硅缓冲层上设有波导层，波导层上设有覆盖层，所述波导层包括输入级3dB耦合器、两个开放臂、一个长度固定臂及输出级3dB耦合器。制备方法为：在硅衬底上制备缓冲层，在缓冲层制备波导层并光刻和刻蚀，制备非对称相位可调马赫-曾德干涉仪的PLC芯片部分，切片研磨，再将单模光纤阵列和PLC芯片的开放臂进行耦合，进而和干涉仪的输入端和输出端进行耦合。本发明可以实现相位精细可调，且结构紧凑、简单和稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 相位 可调 马赫 干涉仪 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种非对称相位可调马赫‑曾德干涉仪，其特征在于，包括：平面光波光路PLC芯片和外接导光臂（6），所述平面光波光路PLC芯片包括：硅衬底（7），在硅衬底（7）上设有二氧化硅缓冲层（8），在二氧化硅缓冲层（8）上设有波导（10），在波导（10）上设有覆盖层（11），所述波导（10）包括输入级3dB耦合器（1）、一个长度固定臂（3）及输出级3dB耦合器（2），所述长度固定臂（3）的两端分别与输入级3dB耦合器（1）的下输出端口、输出级3dB耦合器（2）的下输入端连接，在输入级3dB耦合器（1）的上输出端口上设有第一开放臂（4）且与第一开放臂（4）的一端连接，在输出级3dB耦合器（2）的上输入端上设有第二开放臂（5）且与第二开放臂（5）的一端连接，所述外接导光臂（6）的两端分别与第一开放臂（4）的另一端、第二开放臂（5）的另一端连接。
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