[发明专利]一种用于LED芯片侧壁腐蚀工艺的高温强酸槽有效
| 申请号： | 201310218082.2 | 申请日： | 2013-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN103337565A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 段成龙;姚立新;张伟锋;张乾;关宏武 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京中建联合知识产权代理事务所 11004 | 代理人： | 朱丽岩 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于LED芯片侧壁腐蚀工艺的高温强酸槽，该高温强酸槽是由石英缸(9)、陶瓷加热器（8）、隔热层（10）、保护壳（7）、排风罩（17）和自动盖（27）组成；陶瓷加热器（8）位于石英缸(9)的外部，通过石英缸(9)的密封棱（14）嵌入陶瓷加热器（8）的内部充满硅胶的密封沟槽（13）内的方式密封连接；隔热层（10）包裹在陶瓷加热器（8）的外部；保护壳（7）套装在隔热层（10）外部；排风罩（17）安装在石英缸（9）上面；自动盖（27）安装在排风罩（17）上。本发明的高温强酸槽能将石英缸中的强酸溶液加热到300℃，且加热均匀稳定；本发明的高温强酸槽加工、制造、安装方便，使用安全可靠、寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 led 芯片 侧壁 腐蚀 工艺 高温 强酸 | ||
【主权项】：
一种用于LED芯片侧壁腐蚀工艺的高温强酸槽,其特征在于:该高温强酸槽是由石英缸(9)、陶瓷加热器（8）、隔热层（10）、保护壳（7）、排风罩（17）和自动盖（27）组成；陶瓷加热器（8）位于石英缸(9)的外部，通过石英缸(9)的密封棱（14）嵌入陶瓷加热器（8）的内部充满硅胶的密封沟槽（13）内的方式密封连接；隔热层（10）包裹在陶瓷加热器（8）的外部；保护壳（7）套装在隔热层（10）外部；排风罩（17）安装在石英缸（9）上面；自动盖（27）安装在排风罩（17）上。
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